Laser Nanofactory

微纳增减材复合制造
超快 3D微加工系统和服务

多光子聚合

MPP: Multiphoton-polymerization

选择性激光蚀刻

Selectivelaser etching

增减材复合微纳制造

HYBRID FABRICATION

MULTIPHOTON POLYMERIZATION
多光子聚合

多光子聚合 (MPP: Multiphoton-polymerization) 是一种能够在亚微米分辨率下生产任意形状聚合物结构的 3D 打印技术。首先，通过在载玻片上滴注与光引发剂混合的聚合物材料，然后预烘焙，制备光致抗蚀剂样品。然后，使用激光直写技术来制造 3D 微结构。因此，由于一种称为光聚合的过程，聚合物在受到激光辐射影响的下落处硬化。最后，将微结构浸入有机溶剂中以显影未聚合的光致抗蚀剂。
MPP 通常用于微电子器件的制造，因为它允许创建非常小的以及高精度的详细结构此外，由于光线高度聚焦，因此可用于创建复杂的 3D 形状。

三维螺旋 (3D GYROID) 结构

多光子聚合 (MPP) 是一种适合于超材料制备的技术。超材料是一种复合材料，其物理特性与所用材料的物理性能不同。
三维螺旋结构在机械上是刚性的,但很轻。该结构是通过使用加宽物镜工作距离 (WOW) 方法制造的，利用该方法可以增加高数值孔径物镜的工作距离。该结构的总体尺寸-为1mmx1mmx1mm。结构高度远大于所用物镜的工作距离(0.19 mm)。
这种微制造技术使制造中尺度结构成为可能，这些结构的总尺寸比其最基本特征大几个数量级，

三维链状结构

纤维端面的三维结构

PRISM FOR ELIPSOMETRY

三维螺旋结构

3D 支架

3D 介观弹簧

FRESNELLENS-菲涅耳透镜

陶瓷结构

微针

SELECTIVE LASER ETCHING
选择性激光蚀刻

选择性激光蚀刻 (Selectivelaser etching) 是一种激光减材制造技术，可以以微米级精度制造复杂形状的三维玻璃零件。该技术包括两个制造步骤:飞秒激光照射和随后的化学蚀刻。紧密聚焦的飞秒激光束在激光束的焦点内引起透明材料的改性。通过在空间上移动激光焦点该结构以逐点的方式写入，直到衬底表面。然后,将样品浸入蚀刻剂溶液中，蚀刻出激光改性的区域。 SLE 通常用于制造电子设备和其他精密部件，因为它允许以在蚀刻图案中获得更高水平的精度和细节。此外由于激光束高度聚焦，因此可以用于蚀刻非常小且复杂的设计。

日内瓦齿轮 (GENEVA GEAR)

日内瓦齿轮是一种任意形状的微机械部件，是产生间歇性旋转运动常用的装置之一。包含两个相互啮合的元件。通过将一个齿轮旋转 360°，另一个齿轮以固定的 90°增量移动。
使用 SLE 技术，这些机构可以由单片玻璃制成，而不需要组装步骤。由于无需组装该结构可以小规模生产(低至数百微米)而无需复杂的微操作。此外，通过将一个小磁体连接到机构上并将其放置在旋转磁体上，可以实现结构的平稳连续运动。这是由于结构的不同运动部件之间的间隙非常小 (<10 μm) 和很好的表面粗糙度 (~200 nm RMS) ，更大限度地减少了过度摩擦。

HYBRID FABRICATION
增减材复合微纳制造

飞秒激光器是一种非常通用的工具，可以用于各种不同的微加工工艺。每个工艺对激光、光束传输或材料参数都有对应的要求。我们的激光纳米工厂工作站允许复合制造，这意味着不同的工艺都由相同的设备支持。我们最常用的两种工艺是多光子聚合和选择性玻璃蚀刻，但这远不是全部!通过精确调整其参数，同一台机器能够执行更多的过程，包括:

透明材料的折射率改性 (Refractive index modification oftransparent materials)
微消融 (Micro-ablation)
表面结构化 (Surface structuring)
微焊接 (Micro-welding)

此外，激光纳米工作站是一个模块化系统，可以进一步适应您的应用。
支持各种样品支架，例如:显微镜载玻片 (microscopeslides)、晶片 (wafers)、光纤 (fiber) 和不同的制造头，针对您所需的激光应用进行了优化。

LAB-ON-CHIP DEVICE

复合制造方法能够通过激光烧蚀从熔融二氧化硅中快速生产通道，而多光子聚合用于在通道内集成任意几何形状的精细网格 3D 过滤器。为了证明这种方法的有效性，生产了一种用于新一代药物开发和生产的微流体大分子分离器原型。它被设计用于在混合溶液中分离低分子量和高分子量物质。这些器件所需的聚合物和玻璃部件在制造过程中自由选择和结合，为器件带来了新的功能水平，并简化了制造工作流程。由于多光子聚合的多功能性，可以以很高的分辨率实现各种复杂几何形状的过滤器。例如，该过滤器的孔隙为 500 nm 宽。